岸田拓也 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】処理槽内における基板処理の面内ばらつきを低減する技術を提供する。【解決手段】内槽341と、内槽341の外周部に設けられる外槽343と、内槽341と外槽343とを接続する第1配管50と、第1配管50を通過するリン酸水溶液を加熱するヒーター52と、第1配管50におけるヒーター52と内槽341との間に設けられる開閉バルブ513と、第1配管50におけるヒーター52と内...

    基板処理装置および基板処理方法

  2. 【課題】基板処理装置において、より精度よく、処理槽から排出された排液の導電率を測定することが可能な技術を提供する。【解決手段】処理液に基板を浸漬させることで該基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、処理液が貯留可能な処理槽(7a)と、処理槽から横溢する処理液を受け入れる液受部(62)と、液受部から所定間隔離間して配置された排出口(65)とを有し、処理槽から横...

    基板処理装置

  3. 【課題】言語音の伝達を適切に行う。【解決手段】音声伝達環境評価システム1は、所定の環境を経た、言語音が含まれた音響信号を取得する音響情報取得部10と、音響信号に言語音が含まれる程度を示す評価値を算出する評価部30と、を有し、評価部30は、言語音に関して周波数範囲に基づいて振り分けられた互いに異なる複数の成分である複数の言語音成分を、音響信号を用いて記述した際に、言語音...

    音声伝達環境評価システム及び感覚刺激提示装置