岩本和徳 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 走査露光時のステージ走査により発生する構造体や鏡筒定盤の変位や振動を無くし、露光装置トータルのスループットや露光精度を向上させる。【解決手段】 個別に移動可能な複数のステージと、前記複数のステージを駆動する電磁アクチュエータと、を有し、前記電磁アクチュエータは、固定子1つに対し複数のステージにそれぞれ接続された複数の可動子を有し、前記複数のステージの少な...

    ステージ装置および露光装置