岩崎武正 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】分流工程の自動化を図り、作業ミスなどの低減に加え、製品の開発期間短縮や早期歩留り向上を実現することができる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】初期登録にて、分流を行う各ウェハ毎に、先行処理による着工条件やAPCによる着工条件などから基準とする着工条件を選択し、指示変化量を設定することで、前記各ウェハが装置によって着工される際に、前記選択した着工条件に該...

    半導体装置の製造方法