岡田隆雄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】圧電材料からなる音叉型振動子の製造方法において、圧電基板の外縁に形成される線状Auメッキの形成を抑える。【解決手段】圧電基板の一方の面のみに第2のレジスト膜を形成する工程と、第2のレジスト膜に第2のレジストパターンを形成する工程の後であって、かつ周波数調整膜を形成する工程の前に、圧電基板の第2のレジストパターンが形成されていない面に第2のレジスト膜を形成し、第...

    音叉型振動子の製造方法