岡村卓 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】セットアップ時の基準位置の誤差を抑制することができる切削ブレードのセットアップ方法を提供すること。【解決手段】切削ブレードのセットアップ方法は、チャックテーブルの上面をカメラユニットで撮像し、傷又は異物が検出されない上面のセットアップ位置を探索するセットアップ位置探索ステップST2と、セットアップ位置探索ステップST2で探索された上面のセットアップ位置を切削ブ...

    切削ブレードのセットアップ方法

  2. 【課題】ウエーハからはみ出した部分の樹脂を容易に切断してウエーハを研削できるようにする。【解決手段】ウエーハWの表面Waを樹脂Jで被覆してバンプWfによる凹凸を樹脂Jで吸収する被覆工程と、ウエーハWに被覆された樹脂Jが完全には硬化しない露光量の紫外線UVを照射して、樹脂Jを半硬化状態にする半硬化工程と、ウエーハWの周縁Wcからはみ出て被覆された樹脂JをウエーハWの周縁...

    ウエーハの研削方法