山田恵三 さんに関する公開一覧

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  1. 【目的】本発明は、オートフォーカス装置に関し、試料の高さを精密に測定、設定すると共に、高速、精密かつ確実なオートフォーカスすることを目的とする。【構成】荷電粒子ビームを細く絞って試料に照射しつつ走査する対物レンズおよび走査系を設け、対物レンズの外面の部分あるいは対物レンズに設けた穴の部分に、干渉装置と光ファイバーで接続されたセンサーヘッドを試料に向けて固定し、センサー...

    オートフォーカス装置

  2. 【目的】本発明は、電子ビーム測定装置および電子ビーム測定方法に関し、エッジのピークをリアルタイムに検出した後、所定間隔経過後に電子ビームをリアルタイムに遮断し、パターンへの照射を抑止して当該パターンのダメージやシュリンクを抑制することを目的とする。【構成】部分走査領域を設定する設定手段と、パターンのエッジをリアルタイムに検出する検出手段と、エッジをリアルタイムに検出し...

    電子ビーム測定装置および電子ビーム測定方法

  3. 【課題】電子を用いた超高速検査装置および電子を用いた超高速検査方法に関し、サンプル表面の3次元構造を反映した電子分布情報を取得して高速にパターン欠陥の検査を行う超高速検査装置を提供する。【解決手段】所定領域に電子を照射したときに、所定領域の測定対象の3次元構造に依存して3次元空間に放出される電子あるいは反射される電子の3次元角度分布情報、3次元強度分布情報、あるいは3...

    電子を用いた超高速検査装置および電子を用いた超高速検査方法