山岡秀嗣 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板上に形成された複数本の導電パターンの欠陥位置を迅速かつ簡易に特定できる手段を提供する。【解決手段】導電パターンの検査装置10は、第一電極12を介して導電パターン17に電気信号を供給する供給部20と、導電パターン17に沿って第一電極12から所定の間隔で配置された複数の第二電極14を介して、導電パターン17から供給部20によって印加された電気信号をそれぞれ検出...

    導電パターン検査装置及び検査方法