小林淳司 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】半導体ウェハーに形成されたイメージセンサーを検査する際に、光源から照射される光の照度が変化しても光電変換特性を正確に測定できる検査装置を提供する。【解決手段】プローバー装置30に保持されたプローブカード10に設けられた照度センサーによって測定された照度を基準面内の所定の位置における照度に換算する換算係数、所定の位置における照度が第1の照度となるときの基準設定値...

    半導体イメージセンサーの検査装置及び検査方法