小林康信 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】原板から所定の大きさに切り出された基板を処理装置に搬送して成膜などの基板処理工程を行う際に、基板処理工程の精度の低下を抑制する。【解決手段】本発明の基板搬送システムは、原板から所定の大きさに切り出された基板を搬送するための基板搬送システムであって、前記基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段を制御する搬送制御部とを含み、前記搬送制御部は、前記基板の原板からの切り...

    基板搬送システム、基板搬送方法、基板処理システム、及び基板処理方法

  2. 【課題】成膜装置においてアライメントステージを用いて基板とマスクをアライメントする際のアライメント精度を向上させる。【解決手段】基板とマスクの位置合わせを行うアライメント装置であって、基板支持手段と、基板支持手段に支持された前記基板を並進または回転させるアライメントステージと、アライメントステージを駆動する制御部と、基板アライメントマークを検出して位置情報を取得する位...

    アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法

  3. 【課題】マスクの個体差によるアライメント精度低下を抑制する。【解決手段】基板10及びマスク220のうちの少なくとも一方を第1の方向に移動させ、基板10とマスク220とを近接または離隔させる移動機構、および基板10とマスク220との間の相対位置を調整する位置調整機構を制御する制御部と、マスク220の厚さ情報を取得する厚さ情報取得手段と、を備え、前記制御部は、前記厚さ情報...

    アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法、記録媒体、及びプログラム