小林博幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】複数の発熱体を設けた場合でも、ベースプレートの設計自由度の低下を抑制可能な静電チャックを提供する。【解決手段】本静電チャックは、静電電極が内蔵された基体に吸着対象物を載置し、前記吸着対象物を吸着保持する静電チャックであって、前記基体に内蔵された複数の発熱体と、前記基体に内蔵され、各々の前記発熱体に直列に接続された、光で制御可能な電流制御素子と、を有し、各々の前...

    静電チャック、基板固定装置

  2. 【課題】複数の発熱体を設けた場合でも、ベースプレートの設計自由度の低下を抑制可能な静電チャックを提供する。【解決手段】本静電チャックは、静電電極が内蔵された基体に吸着対象物を載置し、前記吸着対象物を吸着保持する静電チャックであって、前記基体に内蔵された複数の発熱体と、前記基体に内蔵され、各々の前記発熱体に直列に接続された電流制御素子と、前記基体に内蔵され、各々の前記電...

    静電チャック、基板固定装置

  3. 【課題】 バッテリを必要とせずに、作業者の生体情報を検出することができるセンサタグを備えた作業者の体調監視システムを提供する。【解決手段】 ヘルメット1に装着したリーダライタ2と、リーダライタ2とRFID(radio frequency identifier)を構成するとともに作業者Mの生体情報を検出するセンサタグ3と、センサタグ3が検出する作業者Mの生体情報を無...

    作業者の体調監視システム