小松通郎 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】シリカ膜、Siウェハや、難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度(低スクラッチ等)を達成でき、さらに不純物を含まないため、半導体基板、配線基板などの半導体デバイスの表面の研磨に好ましく用いることができるシリカ系複合微粒子分散液の提供。【解決手段】非晶質シリカを主成分とする母粒子の表面に結晶性セリアを主成分とする子粒子が結合し、さらにそれらを覆...

    シリカ系複合微粒子分散液、その製造方法及びシリカ系複合微粒子分散液を含む研磨用スラリー

  2. 【課題】シリカ膜、Siウェハや難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度を達成できるセリア系複合微粒子分散液の提供。【解決手段】下記の特徴を備えるセリア系複合微粒子20を含むセリア系複合微粒子分散液。母粒子10と、前記母粒子の表面上のセリウム含有シリカ層12と、前記セリウム含有シリカ層の内部に分散している子粒子14とを有し、母粒子は非晶質シリカを主成分...

    セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液

  3. 【課題】シリカ膜、Siウェハや難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度を達成できるセリア系複合粒子分散液の提供。【解決手段】下記の特徴を備える平均粒子径5〜500nmのセリア系微粒子を含む、セリア系微粒子分散液。前記セリア系微粒子は、原料セリア微粒子と、前記原料セリア微粒子の表面上の易溶解性のシリカを含む層とを有し、前記原料セリア微粒子は結晶性のセリ...

    セリア系微粒子分散液、その製造方法およびセリア系微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液

  4. 【課題】導電性が高く、保存安定性が高い合金粒子分散液を提供すること。【解決手段】微小気泡を含み、かつ有機安定化剤を含まない液中で、複数種の金属塩を還元して合金粒子を調製する粒子調製工程と、前記粒子調製工程で調製した合金粒子を洗浄液で洗浄する洗浄工程とを有する微小気泡を含む合金粒子分散液の製造方法である。

  5. 【課題】導電性が高く、保存安定性が高い金属粒子分散液を提供すること。【解決手段】微小気泡を含み、かつ有機安定化剤を含まない液中で、金属塩を還元して金属粒子を調製する粒子調製工程と、前記粒子調製工程で調製した金属粒子を洗浄液で洗浄する洗浄工程とを有する微小気泡を含む金属粒子分散液の製造方法である。