小山光明 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】外力の作用による水晶片の撓みにより、静電容量を変化させて外力の大きさや振動を検出する装置において、外力を高い精度で検出できる技術を提供すること。【解決手段】容器1内に片持ちの水晶片2を設けて、外力による水晶片2の撓みにより、水晶片2の先端部の可動電極4と可動電極4に対向する固定電極5との間の静電容量が変わることを発振回路の発振周波数により測定し、この測定を介し...

    外力検出装置及び水晶片の傾き調整方法

  2. 【課題】 被エッチング体8のエッチング量をモニターするエッチングモニターであって小型で測定精度の高める技術を提供すること。【解決手段】 水晶片20の下面側に第1の励振電極3を設け、容器10により第1の励振電極3の周囲を気密の空間を形成している。また第2の励振電極4を水晶片20と離間するように設け、第2の励振電極4と水晶片20の間にエッチング液90が満たされるように...

    エッチングモニター用のセンサー、エッチングモニター及びエッチング方法。

  3. 【課題】圧電片に加わる外力を高精度かつ容易に検出すると共に、圧電片に帯電する静電荷の影響を抑えること。【解決手段】圧電片である水晶片2を容器1内部に片持ちにて支持する。水晶片2の下面側の先端部に可動電極21を設け、容器1の底部の可動電極21と相対する位置に固定電極22を設ける。可動電極21及び固定電極22は発振回路41に接続され、水晶片2に外力が加わって撓むことによる...

    外力検出装置

  4. 【課題】高い感度を有しかつ構造が簡易である圧力検出装置を提供すること。【解決手段】水晶からなる容器11と、容器11内に片持ちで支持された水晶振動子3と、水晶振動子3表面に形成された励振電極32、33及び可動電極37と、容器11内部に設けられ可動電極37との間で可変容量を形成する固定電極41とを備えるように圧力検出装置1を構成する。当該構成による圧力検出装置1に圧力が加...

    圧力検出装置

  5. 【課題】流路を通流する流体の流量を高い精度で測定できる流量測定装置を提供すること。【解決手段】流路の第1の部位の発振周波数f1を第1の水晶振動子ユニット3Aにより検出すると共に、第1の部位の下流側の第2の部位の発振周波数f2を第2の水晶振動子ユニット3Bにより検出する。発振周波数と温度とは対応しているので、前記流路に流体を通流させた状態で各々取得した第1の水晶振動子ユ...

    流量測定装置

  6. 【課題】振動子パッケージを用いた発振器において位相雑音を低減すると共に、小型化を図ることができ、また発振周波数の長期的な安定化を図ることができる技術を提供すること。【解決手段】本発明の発振器は、容器60内に形成された水晶とは異なる材料からなる支持部34、35、97に第1の水晶片40を導電性接着剤31により固定し、第1の水晶片40に導電性接着剤32により、第2の水晶片5...

    振動子パッケージ及び発振器

  7. 【課題】温度検出用の水晶振動子を用いて発振周波数の温度補償を行う発振器において、小型化を図ることができ、また発振周波数の長期的な安定化を図ることができる技術を提供する。【解決手段】発振器は、容器6内に形成された水晶とは異なる材料からなる台座63に第1の水晶片10を導電性接着剤31により固定し、第1の水晶片10に導電性接着剤32により、第2の水晶片20を固定する。さらに...

    振動子パッケージ及び発振器

  8. 【課題】、例えば地震時において、振動周期(振動周波数)を簡易に正確に検出することができる装置を提供すること。【解決手段】板状部材に力が加わって撓むと、先端部に設けた可動電極とこの可動電極に対向する容器側の固定電極との間の容量が変わり、この容量に応じて、板状部材とは別個に設けた水晶振動子の発振周波数が変わる。このため容器を振動させると、板状部材が固定電極側に撓んで固定電...

    振動検出装置

  9. 【課題】副振動の発生を抑制した水晶振動子を提供すること。【解決手段】水晶振動子1について、厚みすべり振動を主振動とする水晶片10の片面に、メサ構造を有し平面形状が例えば正三角形である駆動部11を設ける。当該駆動部11上に一方の励振電極21を、水晶片10の駆動部11とは反対面に励振電極21と対応する励振電極22を夫々設ける。当該水晶振動子1は、副振動が輪郭すべり振動であ...

    水晶振動子

  10. 【課題】広い温度範囲において、水晶片に加わる圧力を高精度に検出することができる圧力検出装置を提供すること。【解決手段】水晶板2に作用する圧力を、水晶板2の圧電効果に基づく電圧の変化として捉えて検出する圧力検出装置において、水晶板2に第1の振動領域21と、この第1の振動領域21と双晶の関係にある第2の振動領域22とを形成する。前記水晶板2に圧力を与えたときに、第1の振動...

    圧力検出装置