小原陽三 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】小型で正確な測定が可能な半導体圧力センサを提供する。【解決手段】圧力を検出するダイヤフラムを中央部に有した半導体センサ素子10と、半導体センサ素子10が内部に一体に固定されダイヤフラムの外表面が外側の開口部に向いて位置したセンサケース11を備える。センサケース11が表面実装されたセンサ用回路基板18と、センサ用回路基板18に設けられ半導体センサ素子10の出力が...

    半導体圧力センサ