富松聡 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】イオンビームによる試料の加工によって形成された試料片を摘出して試料片ホルダに移設させる動作を自動で繰返す装置を提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム装置10は、ニードル18によって試料片Qを保持した後に、試料Sの加工時の深さ方向に対応する試料片Qの厚さ方向における底部を含む整形加工領域を設定し、整形加工領域に集束イオンビームを照射して試料片を整形加工するように集...

    荷電粒子ビーム装置

  2. 【課題】ガス電界電離イオン源において,真空粗引き時のコンダクタンス増大化とイオンの大電流化の観点からの引き出し電極穴の小径化とを両立する。【解決手段】電界電離イオン源1において,ガス分子イオン化室15を真空排気するコンダクタンスを可変とする機構を備える。すなわち、ガス分子イオン化室15からイオンビームを引き出す時と,引き出さない時で,ガス分子イオン化室15を真空排気す...

    イオンビーム装置、及びその作動方法