宮勝彦 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板の上面に液膜を形成してこれを凝固させるプロセスを含む基板処理技術において、基板搬送の際の凝固体の融解や揮発を抑制することのできる技術を提供する。【解決手段】基板処理装置1は、処理チャンバ11Aと、基板Wの上面に形成された液膜を冷却して凝固させる凝固処理を処理チャンバ内で実行する凝固処理ユニットと、凝固処理を実行された基板を保持して処理チャンバから搬出する搬...

    基板処理装置および基板処理方法