宮下直也 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】決定事項を含む文書が形成される経緯、根拠、背景などの議論が短文で行われる場合に、短文と文書とを容易に関連付けを行うことができる情報処理システム、情報処理方法、及び情報処理プログラムを提供する。【解決手段】情報処理システムは、発信時刻を含むメッセージである短文を、前記発信時刻に基づいて複数のクラスタに分類する短文処理部と、前記クラスタ内の複数の前記短文の内容と、...

    情報処理システム、情報処理方法及び情報処理プログラム

  2. 【課題】処理室内の圧力を制御する圧力制御バルブの機差を実質的に無くし、容易に同じプロセスを再現する。【解決手段】弁開度を検出するセンサ150と、センサが検出した弁開度、及び処理室内の真空圧力と真空圧力目標値との偏差に基づいて、弁開度を制御する弁開度制御信号を出力する第1制御回路122と、弁開度制御信号に基づいて、ピストンへの作動流体の供給を制御する電空制御信号を出力す...

    基板処理装置及び半導体装置の製造方法

  3. 【課題】タスクによって異なる特徴量を用いて異常を判定することでユーザの利便性を向上させること。【解決手段】本発明の一態様は、判定対象データから第1のサイズの特徴量を抽出する第1の特徴量抽出部と、前記判定対象データから前記第1のサイズとは異なる第2のサイズの特徴量を抽出する第2の特徴量抽出部と、前記第1の特徴量抽出部により抽出された特徴量と、前記第2の特徴量抽出部により...

    判定装置、判定方法、およびプログラム

  4. 【課題】正常な状態を表すデータの特徴量を用いた判定処理の精度を向上すること。【解決手段】本発明の一態様は、正常な判定対象に関する複数の特徴量を取得する取得部と、前記取得部により取得された複数の特徴量の特徴空間におけるばらつきに基づいて、前記複数の特徴量の前記特徴空間を変換する変換部と、前記変換部により変換された前記特徴空間において特徴量が正常であると判定するための範囲...

    情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム

  5. 【課題】基板搬送時の画像データと搬送エラー発生時の画像データをそれぞれ用いて異常解析を行う。【解決手段】基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第1制御手段210(装置コントローラ)と、基板の搬送動作を第1画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第1画像データよりも高精細な第2画像データとして記録する記録...

    基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法