安藤護俊 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 センサの高さ位置を簡単に調整できる高さ計測装置を提供する。【解決手段】 センサ本体1は、光源10を備え、光源ウインド11を通ってプローブ光15を出力し、対象面55にて反射したプローブ光15を計測ウインド12と計測レンズ13を通してラインセンサ14で受光し、対象面55の高さを計測する。光源ウインド11の下側に、ビームスプリッタ21が設けられており、プローブ...

    高さ測定装置

  2. 【課題】 欠陥の高さ方向位置を検出できる欠陥検出装置を提供する。【解決手段】ガラス板99は一定の速度vで移動され、ステージ2の位置dはステージ位置検出装置4により検出される。照明装置1からマスク10を介してガラス板99に対して光を所定角度斜めに入射させ、画像検出装置3によりガラス板99下面で反射した反射光を検出する。入射光と反射光の両方で欠陥を検出し、その時間間隔を...

    欠陥検出装置及び方法