奈良圭 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題・解決手段】長尺のシート基板を長尺方向に搬送して、シート基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、シート基板の長尺方向の一部分ごとに所定の処理を施す処理機構と、処理機構を通るシート基板に所定の張力を与えつつ、シート基板を所定速度で長尺方向に搬送する搬送機構と、シート基板の搬送経路中の特定位置に配置され、シート基板を特定位置に係留可能な係留機構と、シート基板の搬...

    基板処理装置および基板処理方法

  2. 【課題】複数の描画ラインをつなげたマルチビーム型の描画方式であっても、基板の幅方向に継ぎ合わされるパターン同士の継ぎ誤差を低減する。【解決手段】基板P上にパターンを描画する露光装置EXであって、基板Pの搬送方向に搬送する回転ドラムDRと、基板Pに投射される描画ビームによりパターンを基板P上に描画する描画モジュールUW1〜UW5を複数有し、複数の描画モジュールUW1〜U...

    パターン描画装置

  3. 【課題】1つの描画ユニットが描画ラインに沿ってパターンを描画する際の描画精度(露光量の均一性等)や忠実度を高める基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理方法は、パルス光源装置から周波数Fzでパルス発振される紫外波長域のビームを、シート基板の表面でスポット光に集光させると共に、ビームを光走査器によって振ることによって、スポット光を長尺の方向と交差した幅方向に延びる長...

    基板処理方法

  4. 【課題】複数の描画ユニットを使って、基板の幅方向にパターンを継ぎ合わせて露光(描画)した場合でも、パターン同士の継ぎ誤差を低減し、基板に大きな面積のパターンを高精度に安定して描画する基板処理装置の調整方法、及び基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置の調整方法は、複数の描画ユニットの各々によって形成される描画ライン上に、基準マークがもたらされるように、支持部材...

    基板処理装置の調整方法、及び基板処理装置

  5. 【課題】電子デバイス用の材料物質を、フィルム等の基板上に高精度に微細化して形成することができること。【解決手段】基板の表面に、キャリアガスの噴霧によってミストが付着し得る第1の領域と、ミストが付着し難い第2の領域とを形成する第1の工程と、第1の工程を経た基板が、長尺方向に沿って所定の長さで設けられたチャンバー内を所定の搬送速度で長尺方向に通るように基板を移動させる搬送...

    ミストによる成膜方法

  6. 【課題・解決手段】基板(FS)を長尺方向に搬送しつつ、基板(FS)の表面に導電体で形成された導電パターン(PT)の一部に選択的にメッキを施すメッキ処理方法であって、導電パターン(PT)のうち特定パターン部分(SPT)に接続され、且つ、長尺方向に沿って延びる補助パターン(APT)を導電材料で基板(FS)上に形成することと、基板(FS)の表面を長尺方向に沿って所定距離に亘...

    メッキ処理方法、メッキ処理装置、および、センサー装置

  7. 【課題・解決手段】微粒子(NP)を含むミスト(MT)を発生するミスト発生装置(MG1)は、微粒子(NP)を含む分散液(DIL)を保持する容器(30a)と、第1の周波数の振動を容器(30a)内の分散液(DIL)に与えることで、微粒子(NP)の分散液(DIL)中での凝集を抑える第1振動部(32a)と、第1の周波数よりも高く、分散液(DIL)の表面から微粒子(NP)を含むミ...

    ミスト発生装置、成膜装置、ミスト発生方法、成膜方法、および、デバイス製造方法