森勇介 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高品質なIII族窒化物結晶を製造するIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】III族窒化物結晶の製造方法は、酸化物気相成長法でIII族窒化物種結晶を成長させる種結晶製造工程と、III族窒化物種結晶の表面に孔を形成する孔形成工程と、窒素を含む雰囲気下にて、ガリウム、アルミニウムおよびインジウムから選ばれる少なくとも1つのIII族元素とアルカリ金属とを...

    III族窒化物結晶の製造方法

  2. 【課題】高品質なIII族窒化物結晶を製造する方法を提供する。【解決手段】III族窒化物結晶の製造方法は、基板上に複数のドット状のIII族窒化物を、III族窒化物結晶の成長のための複数の種結晶として準備する種結晶準備工程と、窒素を含む雰囲気下において、ガリウム、アルミニウムおよびインジウムから選ばれる少なくとも1つのIII族元素とアルカリ金属とを含む融液に前記種結晶の表...

    III族窒化物結晶の製造方法

  3. 【課題】割れやクラックの無い大きなサイズのIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】基板1の上に、複数のIII族窒化物の結晶を、複数の種結晶として配置する種結晶準備工程と、窒素を含む雰囲気下において、ガリウム、アルミニウム、およびインジウムから選ばれる少なくとも1つのIII族元素、ならびにアルカリ金属を含む融液に種結晶の表面を接触させることによって、III族...

    III族窒化物結晶の製造方法および種基板

  4. 【課題】III族元素窒化物結晶の製造の際に基板トレーに発生する多結晶を抑制できるIII族元素窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】III族元素窒化物結晶の製造方法は、Fe、Ni、Coまたはこれらを主成分とする合金で構成される基板トレーの上に種基板を準備する工程と、III族元素含有ガスと、窒素元素含有ガスとを用いて、III族元素窒化物結晶を成長させる工程と、を含む。

    III族元素窒化物結晶の製造方法及び製造装置

  5. 【課題】多結晶化を抑制し、III族窒化物結晶の品質を向上させるIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】III族窒化物結晶の製造方法は、種基板を準備する工程と、過飽和比(P0/Pe)が1より大きく5以下となるように、III族元素酸化物ガスと窒素元素含有ガスとを供給して、種基板にIII族窒化物結晶を成長させる工程と、を含み、P0は、III族酸化物ガスの供給分圧...

    III族窒化物結晶の製造方法

  6. 【課題】原料金属の混合融液の混合完了判定を簡便な方法で実現し、高品質なIII族窒化物単結晶を製造するIII族窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】III族窒化物単結晶の製造方法は、ガリウム、アルミニウムおよびインジウムから選ばれる少なくとも1つのIII族元素とアルカリ金属とを含む融液を混合して混合融液とし、混合融液中の時間と電気抵抗との関係を測定し、電気抵抗が一...

    III族窒化物結晶の製造方法および製造装置

  7. 【課題】低抵抗かつ格子定数制御を可能としたIII族窒化物基板を提供する。【解決手段】III族窒化物基板は、表面と、裏面と、表面と裏面との間の内層と、を有するIII族窒化物の基材部を有し、基材部の表面の炭素濃度が内層の炭素濃度よりも高い。III族窒化物結晶の製造方法は、III族窒化物結晶の成長初期から成長中期にかけて、III族元素酸化物ガスを成長後期に比べて高濃度に生成...

    III族窒化物基板およびIII族窒化物結晶の製造方法

  8. 【課題】高温で分解が少ない窒素原子含有ガスを用いることで、高品質なIII族窒化物結晶の製造方法、製造装置を提供する。【解決手段】III族窒化物結晶の製造方法は、HCNガスを窒素原子含有ガスとして導入するN工程と、III族元素含有ガスを導入するIII工程と、HCNガスとIII族元素含有ガスとを反応させてIII族窒化物結晶を成長させる工程と、を含む。

    III族窒化物結晶の製造装置及び製造方法