大窪和生 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】SEM像の揺れを低減させる補正信号の調整を容易にする。【解決手段】SEM像の揺れの原因になっている外乱NSを検出する外乱検出部30と、外乱NSのスペクトルを取得し最大ピークの周波数f1を検出するスペクトルアナライザ31と、外乱NSから周波数f1の外乱成分を抽出する外乱成分抽出回路と、外乱成分の波形の位相及び振幅を調整した補正信号を生成する外乱補正回路33と、ラ...

    電子ビーム装置及びその調整方法

  2. 【課題】基本パターンが配列形成されている試料に対し、レーザ干渉測長器を備えることなくステージを目標位置へ正確に移動させ、また、SEM像上の位置を誤りなく容易に検出する。【解決手段】メモリセル配列中の小領域A0のSEM像を参照パターンとして取得し、ステージを、移動誤差がセル配列のピッチ以下と考えられる所定距離移動させる毎に、小領域A0に対応した比較領域のSEM像を比較パ...

    電子ビーム装置及びそのステージのナビゲーション方法