大江匡之 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】優れたi線透過率を示し、且つ低応力であるパターン硬化膜を与える、ポリイミド前駆体、及びそれを用いた感光性樹脂組成物及び優れたi線透過率を示し、且つ低応力であるパターン硬化膜の形成方法を提供する。【解決手段】芳香環を含む4価の有機基(A)と少なくとも1つのトリフルオロメチル基を有するビフェニル基(B)の両方を有する構造単位を全構造単位に対して50mol%以上有す...

    ポリイミド前駆体、該ポリイミド前駆体を含む感光性樹脂組成物、それを用いたパターン硬化膜の製造方法及び半導体装置