大加瀬亘 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】腐食性ガスを対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行え、安価で、流量制御精度が高く、耐食性を有する基準圧力式流量制御器を提供する。【解決手段】オリフィスの上流側に設けたコントロール弁と,コントロール弁とオリフィス間に設けた圧力検出器と,圧力検出器の検出圧力から流量を演算すると共に、流量指令信号と前記演算した流量信号との差を制御信号として前記コントロール弁の駆動...

    圧力制御式流量基準器を構成する基準圧力式流量制御器用の耐食性圧力式流量制御器。