大上秀晴 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】熱負荷の掛かる処理を施した長尺フィルムに皺やスクラッチ傷が生じ難い処理装置と処理方法を提供すること。【解決手段】巻出室110から供給された長尺フィルム114を成膜室112のガス放出機構付きキャンロール131に巻き付けてスパッタリング等を施す装置において、キャンロールのフィルム搬入側に二組の張力制御ロール群(第一張力測定ロール130と第一モータ駆動ロール129お...

    長尺基板の処理装置と処理方法

  2. 【課題】長尺基板が巻き付けられないキャンロールの非ラップ部領域から冷却用ガスが漏れないキャンロールとこれを用いた長尺基板処理装置を提供する。【解決手段】回転リングユニット21と固定リングユニット22とで構成されたロータリージョイントを介しキャンロールに設けられた複数のガス導入路に選択的にガスを供給するガス放出機構付きキャンロールにおいて、固定リングユニットの環状凹溝2...

    キャンロールと長尺基板処理装置および長尺基板処理装置の管理方法

  3. 【課題】長尺基板が巻き付けられないキャンロール56の非ラップ部領域から冷却用ガスが漏れないキャンロールとこれを用いた長尺基板処理装置を提供する。【解決手段】摺動面を有する回転リングユニット21と固定リングユニット22とで構成されたロータリージョイント20を介しキャンロールに設けられた複数のガス導入路14に選択的に上記ガスを供給するガス放出機構付きキャンロールにおい、固...

    キャンロールと長尺基板処理装置

  4. 【課題】 ロールツーロールで搬送されながら熱負荷のかかる処理が施される長尺状の樹脂フィルムの温度変化を測定する温度測定センサフィルムを提供する。【解決手段】 巻出ロール111から巻取ロール129までロールツーロール方式で搬送されながら熱負荷のかかる処理が施される長尺基板Fの長手方向の中間部分に介在する温度測定センサフィルム10であって、巻出ロール111又は巻取ロー...

    温度測定センサフィルム及びその製造方法並びに該温度測定センサフィルムを用いた長尺基板の温度測定方法

  5. 【課題】 TD方向(幅方向)の端部に割れが生じにくい積層体フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】 好適には長手方向の引張強度が100MPa以下の超複屈折樹脂フィルムからなる長尺体の少なくとも一方の面にその幅方向の両端部を除いてその長手方向に延在する1条以上の帯状の被覆膜を形成する長尺体への印刷方法であって、前記長尺体の幅方向における端から端までのうち前置被覆膜...

    長尺体への印刷方法