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【課題】試料表面の色むらと凹凸とを容易に検査を行うことのできる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】各々の領域ごとに相互に異なる偏光方向の光を照射することが可能な照明部と、前記照明部より検査対象に照射された反射光を検出するための撮像部と、前記撮像部の前記反射光の入射側に設けられた回転可能な検光子と、を有し、前記検光子を回転させることにより、偏光方向の異なる画像を撮像...
【課題】 被写界深度拡張システム及び被写界深度拡張方法に関し、高速に被写界深度を拡張するとともに、距離画像を得る。【解決手段】 深度拡張レンズ系の光学系の焦点距離制御と撮像手段のゲイン変調とを同期して行って被撮像手段により長時間露光により一枚の第１の撮像画像と、第１のゲイン変調とは逆の増減方向のゲイン変調を行って一枚の第２の撮像画像とを撮像し、第１の撮像画像及び第...
【課題】 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置に関し、欠陥検査の検知精度の向上を図るために位相シフトを用いつつ検査時間を低減する。【解決手段】 互いに異なった複数の波長をそれぞれ独立に変調した明暗パターンをパターン平面上で互いに変調させて合成照明パターンを合成し、前記合成した合成照明パターンを検査対象物に照射し、前記検査対象物からの前記合成照明パターンの反射パター...
【課題】 本発明は、表面欠陥を検出する技術に関し、主として塗装表面のブツ欠陥やキズ欠陥の検出を確実に検出する表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法に関するものである。【解決手段】 発明の表面欠陥検査装置は、色相が平面において少なくとも２方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮...
