堀内達郎 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】成膜される金属酸化物膜への酸素負イオンの入射を低減させることができるマグネトロンスパッタリング装置、これを用いた金属酸化物膜の製造方法を提供する。【解決手段】装置1は、金属酸化物よりなるターゲット4を保持するためのターゲットホルダー2と、ターゲットホルダー2に保持されるターゲット4の表面40と対向しかつ略平行なステージ面30を備えるステージ3とを有する。ターゲ...

    マグネトロンスパッタリング装置および金属酸化物膜の製造方法