国領秀機 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 スピンコートによる塗布膜を均一な膜厚で且つ気泡を含む等しない高品質に形成するスピンコート装置を提供する。【解決手段】 スピンコート装置1は、中心孔51を有するディスク基板5を略水平な状態で保持して回転駆動する回転部2と、塗布液dを吐出するノズル部3とを備え、上記ノズル部3は、ディスク基板5の中心孔51近傍に、中心孔51と同心円の連続した円環状に塗布液dを...

    スピンコート装置