呉孝哲 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】ウェハーの破損が生じることがなく且つウェハーを完全に洗浄するウェハー洗浄装置及びそのスプレーヘッドを提供する。【解決手段】スプレーヘッドは、ウェハーに対し相対的に移動しながら噴水し、該ウェハーに向ける表面に複数のスプレーホールが設けられるウェハー洗浄装置のスプレーヘッドであって、前記複数のスプレーホールは、該スプレーヘッドがウェハーに対し相対的に移動する際各ス...

    ウェハー洗浄装置及びそのスプレーヘッド