呉佳紅 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】異種材料の積層構造でも正確な分析を可能とする分析装置および分析方法を提供する。【解決手段】分析装置1は、試料9を搭載可能なステージ8を備える。光源5は、試料に照射して試料を気化するためのレーザ光を生成する。膜厚測定部6は、レーザ光の照射位置における試料の厚みを測定する。コントローラ7は、膜厚測定部からの試料の厚みの測定値に基づいて、光源からのレーザ光の照射条件...

    分析装置および分析方法