名倉千裕 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】対象物の位置を異なる分解能で高精度に検出するのに有利な位置検出装置を提供する。【解決手段】スケールからの光を検出器で検出することで対象物の位置を検出する位置検出装置であって、スケール20と検出器10との相対移動方向に第1空間周波数を有する第1格子パターンと、第1空間周波数より低い第2空間周波数を有する第2格子パターンと、を含み、相対移動方向に沿って配置された複...

    位置検出装置、リソグラフィ装置、力覚センサ及び力覚センサを有する装置