吉田安志 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】半導体製造装置に於いて、1つの処理室で連続して複数工程の処理が行える様にし、処理能率を向上させると共に処理中の人為的ミスの発生を抑制する。【解決手段】各処理室で時分割した複数のステップレシピで構成されたレシピを作成するレシピ作成画面および前記レシピの処理状況を表示する処理状況画面を少なくとも表示する表示装置42と、レシピ実行プログラム等のプログラム47,48,...

    半導体製造装置および半導体製造方法