古畑誠 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】クアドラチャによる慣性検出特性の低下を低減することのできる慣性センサー、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】慣性センサーは、基板と、基板とZ軸に沿う方向に重なり、基板と対向している検出可動体と、基板に配置され、検出可動体と対向している固定検出電極と、検出可動体を振動させる駆動部と、を有する。また、検出可動体の振動は、X軸に沿う方向の振動とZ軸に沿う方向...

    慣性センサー、電子機器および移動体

  2. 【課題】クアドラチャによる慣性検出特性の低下を低減することのできる慣性センサー、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】慣性センサーは、基板と、基板とZ軸方向に重なり、X軸方向に並んで配置された第1検出可動体および第2検出可動体と、第1検出可動体をX軸方向に変位可能に支持する第1検出ばねと、第2検出可動体をX軸方向に変位可能に支持する第2検出ばねと、第1検出可動体...

    慣性センサー、電子機器および移動体