原田宙幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】槽内の使用中の燐酸を、循環濾過経路部とフッ酸を用いる燐酸再生装置で再生する処理装置において、燐酸再生装置側へ回収する回収時及び回収量を自動化し易くかつ燐酸中の不純物を低減したり一定に維持可能にする。【解決手段】ウエハ1を熱燐酸により処理する溢流部3a付エッチング槽3と、溢流部3aに溢流した燐酸を槽外に導いて濾過、加熱及び純水を添加して槽3内へ戻す循環濾過経路部...

    処理装置および半導体装置の製造方法

  2. 【課題】槽内の使用中の燐酸を、循環濾過経路部とフッ酸を用いる燐酸再生装置で再生する処理装置において、燐酸再生装置側へ回収する回収時及び回収量を自動化し易くかつ燐酸中の不純物を低減したり一定に維持可能にする。【解決手段】ウエハ1を熱燐酸により処理する溢流部3a付エッチング槽3と、溢流部3aに溢流した燐酸を槽外に導いて濾過、加熱及び純水を添加して槽3内へ戻す循環濾過経路部...

    処理装置および半導体装置の製造方法

  3. 【課題】槽内の使用中の燐酸を、循環濾過経路部とフッ酸を用いる燐酸再生装置で再生する処理装置において、燐酸再生装置側へ回収する回収時及び回収量を自動化し易くかつ燐酸中の不純物を低減したり一定に維持可能にする。【解決手段】ウエハ1を熱燐酸により処理する溢流部3a付エッチング槽3と、溢流部3aに溢流した燐酸を槽外に導いて濾過、加熱及び純水を添加して槽3内へ戻す循環濾過経路部...

    処理装置および半導体装置の製造方法

  4. 【課題】水電解によって350気圧以上の高圧で、しかも、水分や酸素含有量の少ない水素を、安定にかつ効率よく、安全に発生させることのできる高圧水素の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】高圧容器7内に設置された固体高分子電解質膜からなる電解セ13ルを用い、電気分解により、陰極で水素を、陽極で酸素を発生させる高圧水素の調製方法において、得られた水素の反応系外への取出し...

    高圧水素の製造方法および製造装置