南吉夫 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】シール部材のシール性に関する重度の不具合を迅速かつ確実に発見し、しかも極微量の漏れに対しても、これを事前または事後に確実に発見できるようにする。【解決手段】基板ホルダ18で基板を保持した時にシール部材66,68で密閉されて該基板ホルダ18の内部に形成される内部空間R内を真空引きして該内部空間Rが一定時間後に所定真空圧力に達するかを検査する第1段階漏れ検査を実施...

    めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法