加藤正紀 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】露光装置(EX)には、マスク基板Mを照明する為に複数の輝線波長(g線、h線、i線等)を含む光を発生する光源(2A、2B、2C)と、からの光を入射して、複数の輝線波長のうちの少なくとも1つの特定の輝線波長(i線)を含んで所定の波長幅に制限された照明光束を抽出する波長選択部(6A、6B、6C)と、照明光束の広がり角を調整する開口数可変部(8A、8B、8C...

    露光装置及び露光方法