加藤和哉 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】プレートを位置決めして保持するのに有利な保持装置を提供する。【解決手段】プレートを保持する保持装置であって、前記プレートが載置される載置台と、前記載置台に設けられ、前記プレートの隣り合う第1側面及び第2側面の位置決めの基準となる基準部材と、前記載置台に設けられ、前記プレートの前記第1側面及び前記第2側面を前記基準部材に突き当てるように、前記プレートの前記第1側...

    保持装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法