加茂理 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】被処理体のタングステンを含む配線等に及ぼす腐食によるダメージを抑制し、被処理体の表面より汚染を効率的に除去できる半導体処理用組成物、およびそれを用いた処理方法を提供する。本発明に係る処理方法は、配線材料としてタングステンを含む配線基板を、鉄イオンおよび過酸化物を含有する組成物を用いて化学機械研磨した後に、三級アミノ基およびその塩からなる群から選択され...

    半導体処理用組成物および処理方法