前田敏秀 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】保持パッド表面へのスラリー凝集を抑制させることができる保持パッド、その製造方法及びその選別方法を提供すること。【解決手段】複数の涙形状気泡を有し且つ被研磨物を保持するための保持面を有するポリウレタンシートを有する保持パッドであって、前記ポリウレタンシートの一部を酸化セリウムを10質量%含むスラリー中に45℃で24時間浸漬したときの前記ポリウレタンシートの浸漬部...

    保持パッド及びその製造方法

  2. 【課題】被研磨物の保持性と取り外し容易性とのバランスに優れる保持パッドを提供する。【解決手段】被研磨物Wを保持するための保持面12aを有する樹脂シート12を備える、保持パッド10であって、三次元表面粗さ解析により得られる、前記保持面12aの山の頂点密度Spdが、10000/mm2以上30000/mm2以下である、保持パッド。

    保持パッド

  3. 【課題】被研磨物の保持性と取り外し容易性とのバランスに優れる保持パッドを提供する。【解決手段】被研磨物Wを保持するための保持面12aを有する樹脂シート12を備える、保持パッド10であって、三次元表面粗さ解析により得られる、前記保持面12aの突出谷部とコア部を分離する負荷面積率Smr2が、80%以上95%以下である、保持パッド。

    保持パッド

  4. 【課題】被研磨物の保持性と取り外し容易性とのバランスに優れる保持パッドを提供する。【解決手段】被研磨物Wを保持するための保持面12aを有する樹脂シート12を備える、保持パッド10であって、三次元表面粗さ解析により得られる、前記保持面12aの突出山部とコア部を分離する負荷面積率Smr1が、5%以上20%以下である、保持パッド。

    保持パッド

  5. 【課題】保持面の色ムラが小さく、被研磨物における被研磨面の平坦性を向上できる保持パッドを提供する。【解決手段】被研磨物を保持するための保持面Pを有する樹脂シート2を備え、樹脂シートにおいて、下記式(1)から算出される保持面の明度指数の変動係数が1.0未満である、保持パッド1。CV(ΔL*)=SD(ΔL*)/AVE(ΔL*)・・・(1)(式中、ΔL*はJIS Z 8...

    保持パッド及びその製造方法

  6. 【課題】捲回又は積層される場合においても、樹脂シートの保持面に傷が生じることを十分に抑制することが可能な保持パッドを提供する。【解決手段】被研磨物を保持するための保持面Pを有する樹脂シート112と、樹脂シートの保持面とは反対側に少なくとも一部の露出面を有する離型シート118とを備える保持パッドであり、JIS K7171:2016に準拠して測定される保持パッドの曲げ弾...

    保持パッド及びその搬送又は保管方法