内田孝幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】対向ターゲット式低ダメージスパッタ装置による成膜処理を行い、蒸着法と比べ遜色ない低電圧にて発光する有機EL素子の提供。【解決手段】有機EL素子の上部電極膜のスパッタ法による製造方法であって、上部電極膜形成前に基板に保持されたベース基板上に下部陽極、ITOまたはMoO3バッファー層、p形正孔輸送層、n形有機半導体層と、前記n形有機半導体層上に積層されたLiF層と...

    有機EL素子の上部電極膜のスパッタ法による製造方法