内田博文 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】反りが小さい六方晶系半導体板状結晶を効率良く製造する方法を提供すること.【解決手段】結晶切断用ワイヤーWにより六方晶系半導体結晶31を切削して板状結晶を製造する方法であって、前記六方晶系半導体結晶に対して25°<α≦90°およびβ=90°±5°[αは六方晶系半導体結晶のc軸とワイヤーにより切り出される結晶面の法線とがなす角度であり、βは六方晶系半導体結晶のc軸...

    六方晶系半導体板状結晶の製造方法