内潟外茂夫 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】液体中に含まれている気体を短時間で除去する。【解決手段】脱泡装置30は、液体9が流れる供給流路32と、前記供給流路32の下流側に設けられ当該供給流路32よりも流路面積の小さい微細流路孔36を複数有する微細流路要素34と、内部に拡大空間40を有し前記微細流路孔36を通過した前記液体9を溜めるタンク38と、前記拡大空間40を減圧する減圧機構42と、を備える。

    脱泡装置及び塗布装置