保坂俊 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】半導体センサのサイズを小さくし、センサ感度を高めること。【解決手段】半導体基板等の基板の厚み方向に深い溝を形成する。隣接する複数の溝の間の基板側壁(隔壁)の上面および/または下面に薄板を付着する。基板側壁(隔壁)に圧力や加速度や角速度や音波等の力量をかけると、溝同士の間の基板側壁(隔壁)(ダイヤフラムに相当)が湾曲して溝部の容量が変化する。この変化量を検出する...

    センサ・デバイスおよびその製造方法

    • 公開日:2020/10/15
    • 出願人: 保坂俊
    • 発明者: 保坂俊
    • 公開番号:2020-171007号
  2. 【課題】加速器や質量分析装置を小型化し安価に作製し、誰もが利用できること。【解決手段】第1主基板、第1主基板の上面に付着した第1上部基板、および第1主基板の下面に付着した第1下部基板を含む複数の基板から構成される質量分析装置または加速装置であり、第1主基板に形成された、第1主基板の上面から第1主基板の下面へ貫通する貫通室であり、基板面に垂直方向(Z方向)が上部基板およ...

    超小型加速器および超小型質量分析装置およびイオン注入装置

    • 公開日:2020/08/06
    • 出願人: 保坂俊
    • 発明者: 保坂俊
    • 公開番号:2020-119901号
  3. 【課題】加速器や質量分析装置を小型化し安価に作製し、誰もが利用できること。【解決手段】第1主基板、第1主基板の上面に付着した第1上部基板、および第1主基板の下面に付着した第1下部基板を含む複数の基板から構成される質量分析装置または加速装置であり、第1主基板に形成された、第1主基板の上面から第1主基板の下面へ貫通する貫通室であり、基板面に垂直方向(Z方向)が上部基板およ...

    超小型加速器および超小型質量分析装置

    • 公開日:2020/05/14
    • 出願人: 保坂俊
    • 発明者: 保坂俊
    • 公開番号:2020-074275号