余合清嗣 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

検索結果:1~1件を表示(1件中) 1/1ページ目

  1. 【課題】アーク放電の発生に要する電力消費を抑制できるアーク蒸着式成膜装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ10内に設置されたターゲットカソード11に電圧を印加する電源として、電源電圧は高いが電流容量は小さい高圧電源14と、電源電圧は低いが電流容量は大きい低圧電源15と、の2つの電源を備え、アーク放電の発生に際してターゲットカソード11に電圧を印加する電源を、グロー放...

    アーク蒸着式成膜装置