佐藤良夫 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】小型化を可能とする弾性波デバイスを提供する。【解決手段】弾性波デバイスは、5°以上、かつ、18°以下のカット角を有するYカットX伝播タンタル酸リチウム基板10と、前記タンタル酸リチウム基板上にn(nは自然数)層積層された1または複数の金属膜12により形成され、弾性波を励振し、前記1または複数の金属膜のうち各金属膜の密度、前記各金属膜の膜厚、モリブデンMoの密度...

    弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ