佐藤真樹 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】デバイスの歩留まりを向上できる静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックは、第1部分51と第1部分の外周に設けられる第2部分52とを有し、冷却ガス用のガス導入路53が設けられた導電性のベースプレートと、第1部分の上に設けられ、ウエハWを吸着可能で、ガス導入路と連通する少なくとも一つの貫通孔を有するセラミック誘電体基板30とセラミック誘電体基板に内蔵された...

    静電チャック

  2. 【課題】変位センサーを利用して回収ボトル(容器本体)の回転を検出することができる廃トナー回収装置を提供する。【解決手段】 廃トナー回収装置13は、廃トナーを収容可能な円筒状に形成された容器本体32を有する回収ボトル61と、軸周りに回転される容器本体32を支持する回収側装着部60と、容器本体32に対向して配置され、容器本体32に収容された廃トナーの量に応じた静電容量を...

    廃トナー回収装置および画像形成装置

  3. 【課題】デバイスの歩留まりを向上できる静電チャックを提供する。【解決手段】第1部分と、前記第1部分の外周に設けられる第2部分と、を有し、冷却ガスが導入されるガス導入路が設けられた導電性のベースプレートと、前記第1部分の上に設けられ、ウエハを吸着可能に構成されており、前記ガス導入路と連通する少なくとも一つの貫通孔を有するセラミック誘電体基板と、前記セラミック誘電体基板に...

    静電チャック