佐藤憲治 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】1回の撮像で被検体上の高反射異常対象物と低反射異常対象物を検査することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置は、被検体1の外観から被検体1の異常対象物Fを検出する外観検査装置であって、所定波長帯域の光を被検体1に上方から照射する照明3aと、所定波長帯域から離れた波長帯域の光を被検体1に対してローアングルで照射する照明3bと、照明3aと照明3b...

    外観検査装置