佐藤広士 さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【目的】平滑性,清浄性,耐ガス放出性および溶接性のいずれにも優れ、且つ耐食性を更に向上させた、半導体製造装置の構成部材として最適なステンレス鋼部材を製造する為の方法を提供する。【構成】C:0.015 重量%以下,Si:0.6 重量%以下,Mn:0.8 重量%以下,Ni:12〜17重量%,Cr:17.5〜24重量%,Mo:0.05〜2.5 重量%,Al:0.02重量%以...

    半導体製造装置用高耐食性オーステナイト系ステンレス鋼部材の製造方法