佐藤史郎 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題・解決手段】アライメントマーク付き基板10は、基板12と、基板12の第1主面12aに形成されたアライメントマーク14と、を備える。アライメントマーク14は、複数の線状の凹部16を有する。凹部16は、第1主面12aと平行な平坦部18と、第1主面12aに対して傾斜した傾斜部20と、を備える。

    アライメントマーク付き基板