伊藤安夫 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】単結晶の製造方法において、インゴットの軸方向における酸素濃度をより正確に推定し、所望の酸素濃度が得られる単結晶を切り出すこと。【解決手段】気密容器2内に設けられたルツボ3に多結晶の融液7を貯留し、該融液より引き上げられた単結晶のインゴット10を、所定の酸素濃度となる位置で切断する単結晶の製造方法において、気密容器内に供給される不活性ガスの流速をGP、融液の液面...

    単結晶の製造方法