今橋一成 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 処理装置

    【目的】設計自由度の高いマルチチャンバ型処理装置を提供する。【構成】本装置は、処理ユニットU1と搬送ユニットU2と中継ユニットU3と出入ユニットU4から任意の種類及び任意の数のユニットを選択し、各搬送ユニットU2を中継ユニットU3を介して接続することにより、自由なレイアウトでマルチチャンバ型処理装置を構成できる。中継室に搬送手段、検査装置、温調装置、アライメント装置な...

    処理装置