人羅俊実 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】密着性に優れた金属膜を工業的有利に成膜できる金属膜の形成方法およびその方法により形成された金属膜を提供する。【解決手段】基体上に金属膜を形成する金属膜形成方法であって、酸化剤、キレート剤またはプロトン酸を含む有機溶媒中に、金属を溶解または分散させてなる原料溶液を霧化してミストを発生させる霧化工程と、キャリアガスを前記ミストに供給するキャリアガス供給工程と、前記...

    金属膜形成方法